マスクフィルムは、PET製シート表面にコーティングした銀塩感光膜にレーザ光で露光し、現像処理したモノクロ(透明と黒)フイルムです。透明な部分は光が透過し、黒い部分は遮光します。
マスクフィルムは、スクリーン製版の露光、基板等のパターン(エッチングフォトレジスト露光用)と、レジスト(フォトレジスト露光用)、エッチングや電鋳(フォトレジスト露光用)、オフセット印刷PS版(露光用)などに使用されています。

透明部の透過率、黒部分の遮光率と低反射率、寸法安定性等、光学的性能に優れるため、露光以外の用途にも使用されています。

海野技研では、2種類のフィルム描画装置を使用しております。

レーザフォトプロッタ

レーザフォトプロッタは、主に工業用途のフォトマスクフイルム描画装置です。
高精度かつ高解像度が特徴です。
フィルム厚さは、0.175mm(PET)です。ベースフイルムは工業用に温度湿度による伸縮を低減した特性になっています。
CADデータ、ガーバーデータ、イラストレータ等のグラフィックデータを、6,350~25,400dpiで描画します。

イメージセッタ

イメージセッタは、主にグラフィック用途のフォトマスクフイルム描画装置です。
フイルム厚さは、0.100mm(PET)です。
イラストレータ等のグラフィックデータを1,200~3,600dpiで描画します。

マスクフィルムの詳細

詳しくはMEMSFILM.com(マスクフィルム製品サイト)をご覧ください。